隨著科(ke)學技術的(de)(de)發展和我國工(gong)(gong)業化(hua)進程的(de)(de)加速(su)(su)(su),未來市場對于微型(xing)(xing)化(hua)、精密(mi)化(hua)元(yuan)器件的(de)(de)需求越來越大,而且由于微型(xing)(xing)機(ji)械尺(chi)度小,能(neng)夠到(dao)達(da)空間(jian)狹小區域(yu)進行作業,因此(ci)微型(xing)(xing)行星齒輪減(jian)速(su)(su)(su)電(dian)機(ji)在電(dian)子設備、、微型(xing)(xing)機(ji)電(dian)等領域(yu)都(dou)具(ju)有廣闊的(de)(de)應用前景。微型(xing)(xing)馬達(da)通常(chang)只(zhi)能(neng)夠提供較大的(de)(de)轉速(su)(su)(su)以及(ji)很(hen)小的(de)(de)轉矩,而為了得(de)到(dao)實際工(gong)(gong)況需要的(de)(de)大轉矩,微型(xing)(xing)齒輪減(jian)速(su)(su)(su)電(dian)機(ji)就顯得(de)必(bi)不(bu)可少。
齒輪減(jian)速電(dian)機(ji)(ji)作(zuo)為(wei)一(yi)種常見(jian)的(de)機(ji)(ji)械(xie)傳動(dong)(dong)機(ji)(ji)構(gou),具有傳遞動(dong)(dong)力大(da),傳動(dong)(dong)效率,使用壽命(ming)長,工作(zuo)可(ke)(ke)靠性(xing)以(yi)及傳動(dong)(dong)平穩性(xing)好(hao)等特點,因而在機(ji)(ji)械(xie)傳動(dong)(dong)中得(de)到了的(de)應用。而行星齒輪減(jian)速電(dian)機(ji)(ji)具有結構(gou)緊湊、傳動(dong)(dong)比大(da)、可(ke)(ke)靠性(xing)等特點,并(bing)可(ke)(ke)以(yi)現階段微(wei)型齒輪機(ji)(ji)構(gou)通過(guo)多級定(ding)軸輪系傳動(dong)(dong)來(lai)(lai)得(de)到大(da)傳動(dong)(dong)比而帶來(lai)(lai)的(de)傳動(dong)(dong)效率低(di)下的(de)弊端,所以(yi)現在的(de)齒輪減(jian)速電(dian)機(ji)(ji)朝著(zhu)微(wei)型化(hua)方向發展(zhan)。
LIGA技(ji)術(shu)和準LIGA技(ji)術(shu)是目前(qian)金(jin)屬材料(liao)的(de)微(wei)(wei)型齒輪加(jia)工(gong)方(fang)(fang)法中(zhong)研究多的(de)微(wei)(wei)型齒輪成(cheng)(cheng)(cheng)形(xing)方(fang)(fang)法。微(wei)(wei)塑性(xing)成(cheng)(cheng)(cheng)形(xing)技(ji)術(shu)是以(yi)塑性(xing)變形(xing)的(de)方(fang)(fang)式來生(sheng)產毫米(mi)級(ji)(ji)甚至微(wei)(wei)米(mi)級(ji)(ji)微(wei)(wei)型零件(jian)的(de)技(ji)術(shu),該技(ji)術(shu)具(ju)有材料(liao)利(li)用率(lv),生(sheng)產成(cheng)(cheng)(cheng)本(ben)低,成(cheng)(cheng)(cheng)形(xing)件(jian)質量好,生(sheng)產效率(lv)等特點,所以(yi)近(jin)年(nian)來其獲得了很大的(de)發展。齒輪精密機(ji)械(xie)加(jia)工(gong)技(ji)術(shu)是微(wei)(wei)機(ji)械(xie)制作(zuo)過(guo)程中(zhong)較為常用的(de)工(gong)藝(yi)技(ji)術(shu),同時也是衡量一個制造技(ji)術(shu)水(shui)平的(de)重要。
微(wei)型(xing)齒(chi)輪(lun)機構的潤滑(hua)問(wen)題在(zai)微(wei)型(xing)行(xing)星齒(chi)輪(lun)機構中(zhong)占(zhan)有重(zhong)要的地位,隨著齒(chi)輪(lun)尺度(du)的縮(suo)小(xiao),齒(chi)輪(lun)機構在(zai)運轉過程中(zhong)摩(mo)擦扭矩的損耗在(zai)全部(bu)功(gong)率損失(shi)中(zhong)占(zhan)的比重(zhong)就會呈指數(shu)增(zeng)加,從而造成微(wei)型(xing)行(xing)星齒(chi)輪(lun)箱傳(chuan)(chuan)動機構傳(chuan)(chuan)動效率的大(da)幅度(du)降(jiang)低。所以(yi),微(wei)型(xing)齒(chi)輪(lun)傳(chuan)(chuan)動中(zhong)摩(mo)擦系數(shu)的微(wei)小(xiao)降(jiang)低都會對終傳(chuan)(chuan)動效率產生較大(da)的影響。
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